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新品推薦！芯明天閉環(huán)三維壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
更新時(shí)間： 2023-02-09
此次為大家?guī)硪豢铋]環(huán)式、三維運(yùn)動(dòng)、壓電螺釘驅(qū)動(dòng)的壓電運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。使用過壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的用戶都會(huì)了解，一般情況下，這種運(yùn)動(dòng)平臺(tái)都是開環(huán)的，沒有閉環(huán)伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運(yùn)動(dòng)控制下對(duì)高精度的要求，芯明天專門設(shè)計(jì)、研發(fā)了XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)配備了增量式編碼器，對(duì)運(yùn)動(dòng)行程、精度等可進(jìn)行精確控制，且精度可達(dá)1.5μm。
芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是采用壓電螺釘驅(qū)動(dòng)，壓電螺釘?shù)倪\(yùn)動(dòng)是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)螺紋桿旋轉(zhuǎn)，從而沿著螺紋向前運(yùn)動(dòng)。螺紋桿的推動(dòng)，使得載物移動(dòng)平臺(tái)臺(tái)面的直線運(yùn)動(dòng)。
產(chǎn)品設(shè)計(jì)的參數(shù)如下表所示。
產(chǎn)品實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)
下方測(cè)試結(jié)果是在1.5kg負(fù)載、28.8℃溫度、31%濕度下測(cè)得。
從測(cè)試結(jié)果中可看出，X、Y、Z三個(gè)方向的定位精度均可達(dá)到1.5μm以內(nèi)。運(yùn)動(dòng)效果如下視頻所示。
注：視頻60倍率播放。
芯明天可根據(jù)用戶的參數(shù)要求定制壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，自由選擇一至三維運(yùn)動(dòng)版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達(dá)10^-6mbar以上。
XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是三維直線運(yùn)動(dòng)版本，因其大行程及高精度的特點(diǎn)，非常適用于半導(dǎo)體測(cè)試、晶圓檢測(cè)、納米壓印、納米計(jì)量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。
XYZ65N81E26壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)采用芯明天自研生產(chǎn)的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機(jī)進(jìn)行連接通信，通過上位機(jī)軟件，對(duì)壓電螺釘運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行運(yùn)動(dòng)的控制，可設(shè)置運(yùn)動(dòng)速度等參數(shù)。
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